Kontakt
Intranet
EN
Rast tenkých vrstiev pomocou pulznej laserovej depozície (PLD)
systém MBE/PLD-2000
Pulzná laserová depozícia patrí k fyzikálnym metódam prípravy tenkých vrstiev keramických oxidov, nitridových vrstiev, kovových multivrstiev a rôznych supermriežok. Metóda spočíva v odparovaní z povrchu terčíka v ultravákuovej komore prostredníctvom krátkych vysokoenergetických laserových pulzov. Pary z materiálu terčíka kondenzujú spravidla na vyhrievanej podložke.
Výhodou systému PLD je jednoduchá koncepcia (laser odparuje povrch targetu a produkuje vrstvu toho istého zloženia ako terčík), mnohostrannosť (možná depozícia mnohých materiálov v množstve rôznych plynov a širokom rozsahu tlakov použitých plynov), ekonomika prevádzky (jeden laser môže slúžiť pre viacero vákuových systémov, terče použité v PLD sú malé v porovnaní s veľkorozmernými terčami v prípade naprašovania), rýchlosť (vysokokvalitné vzorky môžu narásť v čase pod 10-15 min, čo má význam pre obmedzenie nežiadúcich interdifúznych procesov, napr. pri príprave štruktúr vysokoteplotných supravodičov). Okrem toho tento systém umožňuje depozíciu multivrstvovej štruktúry v jednom vákuovom cykle. Kvôli vysokej teplote odparovaného materiálu z povrchu terča depozícia kryštalických vrstiev vyžaduje nižšie teploty podložky oproti iným depozičným technikám a to je dôvod, prečo sa polovodičové a supravodivé štruktúry môžu vyhnúť tepelnej degradácii.
Zariadenie sa používa na prípravu vrstiev dielektrík (MgO, CeO2, YSZ, SrTiO3, Bi4Ti3O12, V2O3), perovskitovských supravodičov (YBa2Cu3O7-x) manganitov (La0.67Sr0.33MnO3) a kombinácie týchto vrstiev do vhodných štruktúr pre možné aplikácie ako napr. bolometer, ako aj pre prípravu štruktúr vhodných pre štúdium interakcie feromagnetických a supravodivých vrstiev.
Schéma PLD zariadenia
Súčasné publikácie:
Chromik, Š., Španková, M., Talacko, M., Dobročka, E., and Lalinský, T.: Some peculiarities at preparation of Bi4Ti3O12 films for bolometric applications, Applied Surface Sci 461 (2018) 39-43.
Nurgaliev, T., Štrbík, V., Gál, N., Chromik, Š., and Sojková, M.: Electrical transport effects in YBCO/LSMO bilayer junctions, Physica B 550 (2018) 324-331.
Gál, N., Štrbík, V., Gaži, Š., Chromik, Š., Talacko, M. : Resistance Anomalies at Superconducting Transition in Multilayer N/S/F/S/N Heterostructures, JOURNAL OF SUPERCONDUCTIVITY AND NOVEL MAGNETISM, https://doi.org/10.1007/s10948-018-4720-x.
Sojková, M., Nurgaliev, T., Štrbík, V., Chromik, Š., Blagoev, B., and Španková, M.: LSMO/YBCO heterostructures and investigation of „negative“ resistance effect in the interface, Acta Phys. Polonica A 131 (2017) 842-844.
Španková, M., Štrbík, V., Chromik, Š., Zheng, D.N., Li, J., Machajdík, D., Kobzev, A.P., Plecenik, T., and Sojková, M.: Characterization of epitaxial LSMO films grown on STO substrates, Acta Phys. Polonica A 131 (2017) 848-850.
Štrbík, V., Beňačka, Š., Gaži, Š., Španková, M., Šmatko, V., Knoška, J., Gál, N., Chromik, Š., Sojková, M., and Pisarčík, M.: Superconductor-ferromagnet-superconductor nanojunctions from perovskite materials, Applied Surface Sci 395 (2017) 237-240.
Chromik, Š., Camerlingo, C., Sojková, M., Štrbik, V., Talacko, M., Malka, I., Bar, I., Bareli, G., and Jung, G.: Low energy electron beam processing of YBCO thin films, Applied Surface Sci 395 (2017) 42-49.