2015

Detektor terahetzových vĺn

Navrhli sme a zhotovili detektory THz žiarenia, ktoré pracujú na bolometrickom princípe (mierou intenzity dopadajúceho THz žiarenia je zmena elektrického odporu citlivého prvku v strede zlatej antény). Hoci pásmo THz vĺn je aplikačne veľmi významné (medicína, detekcia výbušnín, atď.), zatiaľ nie je k dispozícii dostatok ani generátorov ani detektorov. Preto považujeme náš mikrobolometer za podstatný prínos – je miniatúrny, má rýchlu odozvu a nepotrebuje robustné chladiace zariadenie, keďže pracuje pri izbovej teplote. Na jeho výrobe sa podieľali tri oddelenia ústavu. Jeho konštrukcia je založená na mnohoročných skúsenostiach s MEMS štruktúrami a nanášaním tenkých vrstiev štruktúrne náročných materiálov vo vákuu. Mikrobolometre boli úspešne testované v prestížnom metrologickom ústave PTB v Berlíne na frekvenciách do 1,4 THz. O technológiu prejavil záujem NIST (USA). Pokročilejšie MEMS mikrobolometre smerujúce ku zvýšenej citlivosti až do frekvencií 10 THz sú predmetom riešenia v novoprijatom projekte APVV (TERAMEMS, 2015-2018).

Detektor terahertzových vĺn

Chromik, Š., Štrbik, V., Dobročka, E., Roch, T., Rosová, A., Španková, M., Lalinský, T., Vanko, G., Lobotka, P., Ralbovský, M., and Choleva, P.: LSMO thin films with high metal-insulator transition temperature on buffered SOI substrates for uncooled microbolometers, Applied Surface Sci 312 (2014) 30-33.
Chromik Š. et al., “Advanced perovskite thin films and structures for applications”, SURFINT-SREN IV November 23-26, 2015, Florence, Italy. Pozvaná prednáška.
Chromik, Š., Lalinský, T., Rýger, I., Vanko, G., Lobotka, P., Darmo, J., Mikulášek T., Pítra, K., Raida, R., Zehetner, J., Vrabček, P.: Uncooled microbolometer for THz radiation. Final workshop of EMRP New07 project on THz Security. May 29, 2015, Davos, Switzerland.
Lalinský, T., Chromik, Š., Lobotka, P., Rýger, I., Zehetner, J., Dzuba, J., and Vanko, G.: Uncooled MEMS detector of terahertz radiation. In: 41st International Conference on Micro-and Nano-Engineering. – MNE 2015. Hague 2015.