Laboratórium FIB

Laboratórium poskytuje duálny mikroskop SEM/FIB na charakterizáciu vzoriek v rôznych režimoch vákua, mikro a nano-tvarovanie, vytváranie 3D štruktúr, manipuláciu objektov pomocou micro-manipulátora a depozíciu platinových štruktúr. Laboratórium taktiež poskytuje prvkovú analýzu a chemickú charakterizáciu využitím RTG mikroanalýzy (EDAX).

Zariadenie:

• FEI Quanta 3D 200i – skenovací mikroskop s dvojitým zväzkom elektrónov (SEM) a iónov (FIB)
• OXFORD Omniprobe AutoProbe 200 – mikromanipulátor
• AMETEK EDAX – prvková analýza a chemická charakterizácia
• FEI Gas Injection System 20089-Q – depozícia platinových štruktúr

Využitie:

• Skenovanie povrchu pomocou fokusovaných elektrónov alebo iónov
• Príprava vzoriek pre SEM, TEM, EDAX (analýza priečneho rezu)
• Mikro-obrábanie – modifikácia AFM hrotov, modifikácia vzoriek tvarovaním štruktúr
• Nanášanie platiny na tvorbu elektrických kontaktov
• Chemická analýza – kvantitatívna a kvalitatívna prvková analýza

Kontakt: Ing. M. Precner, PhD., tel.: 02-5922 2480
Ing. E. Kováčová, Tel.: 02-5922 2470

Prístup: individuálny prístup po zaškolení (4 hodiny), online rezervovanie

Cena: 0 Eur/hod pre SAV zamestnancov

FEI Quanta 3D 200i skenovací mikroskop s dvojitým zväzkom elektrónov (SEM) a iónov (FIB) s mikromanipulátorom, depozíciou platiny a EDAX analýzou