1953 – 1964
1953
Vedenie: ak. L. Cigánek, J. Kožehuba (zást. riad.)
Vedecká rada: L. Cigánek, L. Gvozdjak, J. Kozumplík, K. Dillnberger, K. Fábry, O. Benda Počet prac.: 2/1 ved. (50%)
Priestory: 8 miestností v Dome techniky na Koceľovej ul. č. 17
1961
Vedenie: ak. L. Cigánek, I. Hlásnik (zást. riad.)
Vedecká rada: L. Cigánek (riad. EL-SAV), externí členovia: Ľ. Kneppo (riad. LMP-SAV), J. Kozumplík (VÚKI), Štourač (ÚTF ČSAV), K. Fábry (SVŠT), F. Poljak (SVŠT Košice), Jaroušek (BEZ Ba), interní členovia: J. Schilder (ved. tajomík), I. Hlásnik (zástupca riad.), O. Nesvadba (ZV ROH), J. Kokavec (ZV KSS), K. Měřínsky
Štruktúra:
- Odd. elektrofyziky
- Skupina materiálová
- Skupina technologická
- Skupina meracia
- Skupina teoretická
- Skupina aplikačná
- Odd. elektroniky
- Skupina polí
- Skupina elektronických obvodov
- Laboratórium nízkych teplôt
- Odd. technicko-ekonomických informácií
- Patentové odd.
- THZ
- Sekretariát a materiál. zásob.
- Dielňa
Priestory: blok A Výskumných ústavov SAV na Patrónke
1962
Štruktúra ved. odd.:
- Odd. supravodičov (J. Kokavec)
- Odd. polovodičov (K. Měřínsky)
- Odd. tenkých vrstiev (J. Červenák)
- Odd. elektroniky (M. Vysočanský)
1964 – 1968
1964
Vedenie: I. Hlásnik, ?(zást. riad.)
Vedecká rada: ?
1965
Priestory: samostatná 5-poschodová budova
1968 – 1988
1969
Vedenie: J. Červenák, L. Cesnak (zást. riad.)
Štruktúra ved. odd.:
- Odd. elektroniky (F. Štofanik, 14 prac.)
- Odd. polovodičov (K. Měřínsky, 12 prac.)
- Odd. supravodičov (J. Kokavec, 21 prac.)
- Odd. tenkých vrstiev (Š. Luby, 16 prac.)
1970
Vedenie: J. Červenák, V. Bezák (zást. riad.)
Štruktúra ved. odd.:
- Odd. elektroniky (F. Štofanik, 13 prac.)
- Odd. polovodičov (K. Měřínsky, 13 prac.)
- Odd. supravodičov (J. Kokavec, 20 prac.)
- Odd. tenkých vrstiev (Š. Luby, 16 prac.)
1982
Ved. tajomník: J. Buch
1985
Ved. tajomník: P. Huťka
1988 – 1991
1988
Vedenie: P. Kordoš, I. Vávra (zást. riad.), P. Huťka (ved. tajomník)
1989
Ved. tajomník: M. Polák
Štruktúra ved. odd.:
- Odd. elektroniky (F. Štofanik)
- Odd. polovodičov (K. Měřínsky)
- Odd. supravodičov (J. Kokavec)
- Odd. tenkých vrstiev (Š. Luby)
- Odd. kryoelektroniky (Š. Beňačka)
- Odd. mikroelektronických štruktúr (T. Lalinský)
- Odd. supravodivých materiálov (P.Huťka)
1991 – 1993
1991
Vedenie: M. Polák, J. Novák, L. Krempaský (zástupcovia riad.)
Vedecká rada: L. Hrivnák (predseda)
1993
Vedecká rada: F. Gömöry (predseda)
1993 – 2002
1994
Vedenie: J. Novák, I. Vávra (zástupca riad.), K. Fröhlich (vedecký tajomník)
Vedecká rada: F. Gömöry (predseda)
Štruktúra ved. odd.:
- Dep. of optoelectronics
- Dep. of theory of semiconductor microstructures
- Dep. of superconductors physics
- Dep. of semiconductor technology and diagnostics
- Dep. of cryoelectronics
- Dep. of microelectronic structures
- Dep. of electrodynamics superconductors
- Dep. of applications of superconductivity
1996
Vedenie: J. Novák, I. Vávra (zástupca riad.), K. Fröhlich (vedecký tajomník)
Vedecká rada: M. Moško (predseda)
2001
Vedenie: J. Novák, I. Vávra (zástupca riad.), K. Föhlich (vedecký tajomník)
Vedecká rada: F. Gömöry (predseda)
2002 – 2013

Ing. Karol Fröhlich, DrSc.
2002
Vedenie: K. Fröhlich, F. Gömöry (zást. riad.), V. Cambel (ved. tajomník)
Vedecká rada: M. Moško (predseda)
Vznik ved. odd.:
- Odd. tenkých vrstiev oxidov (K. Fröhlich)
2005
Zást. riad.: V. Cambel
Ved. tajomník: P. Vagner
2006
Vedecká tajomníčka: M. Španková
Vedecká rada: Š. Chromik (predseda)
2009
Zrušenie ved. odd.:
- Odd. elektrodynamiky supravodičov (P. Ušák)
Vedecký tajomník: B. Zaťko
Zástupca riaditeľa pre technickú infraštruktúru: J. Fedor
2010
Vedecká rada: M. Moško (predseda)
2011
Vedecká rada: J. Kuzmík (predseda)
Zrušenie ved. odd.:
- Odd. teórie polovodičových mikroštruktúr (M. Moško)
Vznik ved. odd.:
- Odd. fyziky nanoštruktúr (V. Cambel)
2013 –

RNDr. Vladimír Cambel, DrSc.
2013
Vedenie: V. Cambel, F. Gömöry (zást. riad.), J. Fedor (zást. riad. pre infraštruktúru), M. Ťapajna (ved. tajomník)
Vedecká rada: J. Kuzmík (predseda)
Zmena názvu ved. odd.: z Odd. tenkých vrstiev oxidov na Odd. materiálov a elektrónových súčiastok
2014
Vedecká rada: D. Gregušová (predsedkyňa)
2015
2017
Vedenie: V. Cambel, M. Ťapajna (zást. riad.), J. Fedor (zást. riad. pre infraštruktúru), M. Španková (ved. tajomníčka)