Laboratórium je súčasťou Centra aplikovaného výskumu. Slúži na výskum povrchu vzoriek pomocou skenovacej elektrónovej mikroskopie a skenovacej sondovej mikroskopie. Laboratórium umožňuje vedkyniam a vedcom zobrazovať, charakterizovať a taktiež modifikovať materiálové štruktúry v rozsahu niekoľkých milimetrov až do sub-100 nm rozmerov. Povrchová modifikácia vzoriek sa môže uskutočniť lokálnou anodickou oxidáciou alebo litografiou elektrónovým lúčom.
Zariadenia:
- NTEGRA Prima, skenovací sondový mikroskop (SPM), ktorý využíva niekoľko SPM techník ako napr. mikroskopiu atomárnych síl (AFM), magnetických (MFM) a elektrických síl (EFM), ďalej kelvinovskú mikroskopiu (KPM) a taktiež techniku lokálnej anodickej oxidácie (LAO).
- Inspect F50, skenovací elektrónový mikroskop doplnený o litografický softvér Elphy Quantum od firmy Raith a laserový interferometrický system pre presné ovládanie pozičného stolíka.
- FEG250, skenovací elektrónový mikroskop so Schottkyho katódou vybavený detektorom sekundárnych (SE) ako aj odrazených elektrónov (BSE) s možnosťou merať v tzv. environmentálnom móde (pre pozorovanie nevodivých vzoriek). Taktiež ponúka energetickú disperzívnu röntgenovú spektroskopiu (EDS) pomocou Xflash-6.
- FlexSEM 1000 II – skenovací elektrónový mikroskop s termoemisnou katódou vybavený detektorom sekundárnych (SE) ako aj odrazených elektrónov (BSE). Rozlíšenie mikroskopu je 4 nm (SE-20 kV). Mikroskop obsahuje aj UVD detektorom pre meranie katodolumuniscencie v nízkom vákuu, čo možno využiť na meranie niektorých typov kryštalických nanočastíc a tiež defektov v polovodičoch. Okrem toho je mikroskop vybavený STEM držiakom pre meranie nanočastíc detekovaním transmisných elektrónov z tenkej vzorky umiestnenej na mriežke TEM. Mikroskop je umiestnený v čistých priestoroch, aby umožnil rýhlu kontrolu vzoriek, pre ktoré nie je postačujúci optický mikroskop.
Využitie:
- zobrazovanie topografie povrchu vodivých a nevodivých vzoriek
- analýza drsnosti povrchu
- magnetické merania s možnosťou merať v externom magnetickom poli do 200 mT
- lokálna anodická oxidácia
- litografia elektrónovým lúčom
Skenovací elektrónový mikroskop FEG250 (v strede) poskytujúci rozlíšenie 1,2 nm a skenovací sondový mikroskop NTEGRA Prima (vpravo) s rozlíšením 0,1 nm
Kontakt: Ing. J. Šoltýs, PhD., tel.: 02-5922 2652
Prístup: Prístup s odborným doprovodom, neskôr samostatne po zaškolení vedúcim laboratória
Cena: 0 EUR/hod. pre zamestnancov SAV