Laboratórium poskytuje depozíciu tenkých kovových, dielektrických a magnetických vrstiev. Systém AJA Orion 8E zahŕňa magnetrónové naprašovanie, elektrónové a tepelné naparovanie. Zariadenie umožňuje úpravu vzorky pred samotnou depozíciou pomocou RF a iónového čistenia a tiež aj jej ohrev.
- Hybridný naparovací a naprašovací systém
- Suché vákuum s do tlakov 1×10-8 Torr (Kryo pumpa, load lock systém)
- Naparovanie – dve nezávislé multikelínkové elektrónové delá a dve lodičky
- Naprašovanie – dva 2” UHV magnetróny A320-XP s napájaním DC a RF
- Substrát – priemer 3”, ohrev radiáciou (850°C), RF/DC predpätie, čistenie iónovým delom, rotácia a z posuv v rozsahu 2”
Aplikácie:
- Elektrónové naparovanie materiálov pre mikroelektroniku
- Simultánne naparovanie dvoch materiálov súčasne
- Príprave ohmických a Schottkyho kontaktov
- RF a DC naprašovanie kovových, izolačných a magnetických materiálov (kodepozícia, supermriežky)
- Depozícia materiálov v atmosférach zložených z rôznych plynov: N2 (TiN), O2 (Al2O3)
Leybold UNIVEX 400 E-beam system
- Kompaktný vákuový systém s odparovaním pomocou elektrónového lúča
- Vákuum do tlakov 5×10-7 Torr (bez load-lock systému)
- Naparovanie – 8 rôznych kužeľovitých vaničiek pre kovové materiály
- Substrát – max 350 mm
- Proces naparovania – manuálny, poloautomatizovaný, resp. plnoautomatizovaný
- Zloženie: – procesný modul (vákuová komora s kryo-génnym čerpacím systémom), – riadiaci modul (napájací zdroj, integrovaný PC/PLC a procesný regulátor)
Aplikácie:
- Príprava hradlových a ohmických kontaktov, príp. kovových masiek pre mikroelektroniku
- Materiály – Ti, Al, Ni, Au, príp. Pt
Kontakt: Ing. J. Fedor, PhD., tel.: 02-5922 2358, Ing. R. Stoklas, PhD., Ing. T. Ščepka, PhD.
Prístup: prístup pod odborným dohľadom, rezervovanie e-mailom alebo telefonicky
Cena: 0 EUR/hod. pre zamestnancov SAV