Čisté priestory

Laboratórium je súčasťou  Centra aplikovaného výskumu.
Slúži na vývoj moderných elektronických zariadení, snímačov a tranzistorov. Pozostávajú z dvoch miestnosti: laboratórium fotolitografie a laboratórium pre nanášanie kovov. Trieda čistoty je 1 000 podľa normy US Fed. Štandard 209 (trieda ISO 6 podľa normy ISO 14644-1), počet prachových častíc sa udržiava na 1 000 častíc veľkosti 0,3 μm a väčších na kubickú stopu. Výkonný systém vzduchotechniky udržiava aj konštantnú teplotu (22 °C) a vlhkosť (40%).

Zariadenia:

• expozičné zariadenia KARL SUSS MJB 4 (DEEP UV, rozlíšenie menej ako 0,5 μm) a KARL SUSS MJB 3
• ovrstvovač substrátov Spin coater WS-400B Lite Laurell Technologies
• nízkotlakový plazmový systém Low pressure plasma system FEMTO (RF-výkon max. 100 W)
• optický mikroskop AXIO LAB A1 s digitálnou kamerou AxioCam ERc5S
• systém na čistenie vody DIRECT-Q 3 UV-R

Využitie:

• optická fotolitografia
• príprava a spracovanie vzoriek pre elektrónovú litografiu
• opracovanie povrchov kyslíkovou plazmou
• mokré leptanie pomocou vysokokvalitných VLSI chemikálií

Kontakt: Ing. Eva Kováčová, tel.: 02-5922 2937

Prístup: prístup so sprievodom

Cena: 10 Eur/hodinu pre zamestnancov SAV  (prevádzkové náklady)

Documentácia: SUSS MJB4

Dokumenty

Fotolitografické laboratórium v Čistých piestoroch