Elektrotechnický ústav SAV, v. v. i. (ElÚ SAV), rozšíril svoje technologické portfólio o dve moderné zariadenia určené na vývoj nanotechnológií – NANOFABRICATOR™ Lite od spoločnosti ATLANT 3D a PICOMASTER 100 od spoločnosti RAITH. Ich inštalácia predstavuje významný krok v rozvoji výskumu polovodičových súčiastok, pokročilých materiálov a tenkovrstvových technológií na Slovensku.
NANOFABRICATOR™ Lite je unikátne zariadenie, ktoré spája depozíciu tenkých vrstiev metódou ALD (Atomic Layer Deposition) s princípom 3D tlače. Tento inovatívny prístup umožňuje nanášať vrstvy s presne definovanými fyzikálno-chemickými vlastnosťami iba na vopred určené miesta. Vďaka tomu je možné vytvárať komplexné materiálové štruktúry, ktorých výroba by bola konvenčnými metódami mimoriadne náročná alebo prakticky nemožná.
Systém PICOMASTER 100 výrazne rozširuje technologické možnosti laboratória čistých priestorov v oblasti litografie. Umožňuje prípravu mikroštruktúr bez potreby použitia litografických masiek (tzv. bezmasková alebo priama litografia), čím prináša vyššiu flexibilitu, zrýchľuje prototypovanie a skracuje vývojový cyklus nových návrhov. Zariadenie zároveň dosahuje rozlíšenie až 300 nm.
Oba systémy boli obstarané prostredníctvom projektu STEPHANIK a predstavujú viac než len nové laboratórne vybavenie. Tvoria základ unikátnej technologickej infraštruktúry, ktorá bude slúžiť vedeckým pracovníkom, odborníkom z priemyslu aj výskumným tímom pôsobiacim v oblasti pokročilých materiálov, mikro- a nanotechnológií. Zároveň otvárajú nové možnosti vývoja aplikácií s potenciálom využitia vo vesmírnom sektore.
Projekt STEPHANIK je medzinárodné technologické konzorcium prepájajúce výskumné inštitúcie a priemyselných partnerov. Jeho cieľom je budovanie modernej výskumnej infraštruktúry a rozvoj kľúčových technologických kapacít na Slovensku.
NANOFABRICATOR™ Lite a PICOMASTER 100 sú konkrétnym príkladom toho, ako sa strategická podpora výskumu a technologického rozvoja premieňa na reálne výsledky. Nové zariadenia urýchlia cestu od vedeckého nápadu k experimentu, od návrhu k prototypu a od výskumnej ambície ku konkrétnemu technickému riešeniu. Zároveň vytvárajú priestor na intenzívnejšiu spoluprácu medzi akademickým prostredím, technologickými firmami a medzinárodnými partnermi.
Financované Európskou úniou – NextGenerationEU prostredníctvom Plánu obnovy a odolnosti SR v rámci projektu 09I02-03-V01-00038.
