Elektrotechnický ústav SAV, v. v. i. (ElÚ SAV) oficiálne otvoril zrenovované Nanotechnologické procesné laboratórium. Pracovisko modernizované Mariánom Vargom a jeho kolegami poskytuje špičkové technické zázemie pre prípravu pokročilých opto-elektronických prvkov a funkčných súčiastok, čím posilňuje pozíciu ústavu v oblasti materiálového výskumu a nanotechnológií.
Laboratórium prešlo komplexnou obnovou a inováciou v rámci prestížneho projektu Impulz (IM-2023-87) s výraznou finančnou a investičnou podporou ElÚ SAV. Program Impulz je vlajkovou loďou Slovenskej akadémie vied, ktorej cieľom je zvyšovať excelentnosť a konkurencieschopnosť vedeckých tímov.
„Zrekonštruované laboratórium významne rozširuje výskumnú infraštruktúru ústavu v oblasti prípravy elektronických a optoelektronických súčiastok na báze nanomateriálov, čo nám otvára nové možnosti pre získavaniu zaujímavých vedeckých výsledkov,“ uvádza vedenie ústavu v súvislosti s otvorením priestorov.
Technologické vybavenie a výskumný potenciál
Nové procesné laboratórium disponuje infraštruktúrou potrebnou pre celý proces výroby mikro a nanoštruktúr:
- Naparovací systém: Určený na precíznu prípravu kovových masiek a elektrických kontaktov.
- Fotolitografické stanice: Dve optické fotolitografie vrátane obojstrannej, ktoré umožňujú zložité a zároveň detailné tvarovanie materiálov.
- Iónové leptanie: Systém pre leptanie argónovým iónovým lúčom na vytváranie požadovaných geometrií štruktúr.
- Transfer 2D materiálov: Najnovší prírastok, ktorý má potenciál výrazne akcelerovať výskum v jednej z hlavných vedeckých tematík ústavu.
Zrenovované priestory umožnia vedcom pracovať v prostredí, ktoré spĺňa nároky na čistotu a stabilitu procesov, čo je kľúčové pre transfer výsledkov základného výskumu do praktických aplikácií v modernej elektronike.
