Prednáška - FIB ako nástroj pre nanotechnológiu
Dňa 28. 10. 2009 sa na ElÚ SAV uskutočnila prednáška Ing. Iva Vávru, CSc. s názvom
FIB ako nástroj pre nanotechnológiu
Abstrakt:
Nie najvýstižnejšia, no zaužívaná skratka FIB (Focused Ion Beam) sa používa na označenie rastrovacieho mikroskopu s dvoma zväzkami nabitých častíc - elektrónov a iónov. Niekedy sa preto nazýva aj „dual beam microscope“.
Zavedenie druhého zväzku do mikroskopu výrazne rozširuje možnosti rastrovacej mikroskopie najmä tým, že umožňuje vzorku nielen pozorovať, ale ju aj priamo vo vákuu opracovať (odkontaminovať, tvarovať, pokryť jej časťiným materiálom a pod.).
Po doplnení prídavnými zariadeniami ako sú analyzátor chemického zloženia, injektor metaloorganických plynov, nanomanipulátor a výkonný softvér vznikne technologický komplex so širokými možnosťami uplatnenia sa najmä v príprave a charakterizácii nanoštrukturovaných vzoriek.
V prednáške bola predstavená konkrétna zostava Quanta 3D 200i – FIB zostavy zakúpenej zo štrukturálnych fondov EÚ v rámci Centra pre nové technológie v elektrotechnike, CENTE, aktivita 2.2.
Zariadenie pre prípravu a tvarovanie nanoštruktúr.
Interaktívnym spôsobom boli počas prednášky diskutované experimenty navrhnuté v rámci projektu, ako aj pre možnosti pre ďalších záujemcov.