kontakt pre ďalšie informácie
Technologické laboratórium využíva zariadenie s fokusovaným elektrónovým a iónovým zväzkom (Focused ion beam, FIB). Ide o špičkové technologické zariadenie potrebné pre prípravu a analýzu elektronických nano- a mikroštruktúr novej generácie.
Zaužívaná skratka FIB (Focused Ion Beam) sa používa na označenie skenovacieho mikroskopu s dvoma zväzkami nabitých častíc - elektrónov a iónov. Niekedy sa preto nazýva aj „dual beam microscope“.
Zavedenie druhého zväzku do mikroskopu výrazne rozširuje možnosti rastrovacej mikroskopie najmä tým, že umožňuje vzorku nielen pozorovať, ale ju aj priamo vo vákuu opracovať (odkontaminovať, tvarovať, pokryť jej časťiným materiálom a pod.).
Po doplnení prídavnými zariadeniami ako sú analyzátor chemického zloženia, injektor metaloorganických plynov, nanomanipulátor a výkonný softvér vznikol technologický komplex so širokými možnosťami uplatnenia sa najmä v príprave a charakterizácii nanoštrukturovaných vzoriek.
Základným zariadením je zostava Quanta 3D 200i – FIB zakúpená zo štrukturálnych fondov EÚ v rámci Centra pre nové technológie v elektrotechnike, CENTE.
Zariadenie má vysoké rozlíšenie – elektrónová optika 3,5 nanometra, ionová 10 nanometrov. Súčasťou mikroskopu je aj mikromanipulátor, ktorý umožňuje s predmetmi manipulovať, ďalej zariadenie na depozíciu tenkých platinových kontaktov a ďalšie prídavné zariadenia. Samozrejmou súčasťou je aj výkonný počítačový systém so špecializovaným softwarovým vybavením. Ide o prvý takýto systém na Slovensku a je potrebný najmä pri materiálovom výskume. Umožňuje mikro a nanotvarovanie, vytváranie 3D nanoštruktúr a nanoobjektov, analýzu vrstvových a kompozitných nanoštruktúr a manipuláciu s nanoobjektami.