Základom nového laboratória je inovácia súčasného prístrojového vybavenia Laboratória elektrónovej litografie Centra.
Elektrónové delo s priamo žeravenou katódou pre elektrónový litograf ZBA: zastaralá nepriamo žeravená katóda typu LaB6, ktorá sa už nevyrába bola inovovaná na priamo žeravenú katódu typu LaB6. Výmena spočívala v náhrade vysokonapäťového zdroja, výmene elektrónového dela a všetkých súvisiacich modulov za katódu používajúcu priamožeravený hrot LaB6. Táto inovácia umožňuje ďalšiu dlhodobú prevádzku elektrónového litografu typu ZBA. S týmto inovovaným zariadením je možné pripraviť submikrometrové štruktúry s minimálnymi rozmermi 200 nanometrov na ploche 18 cm2.
V roku 2011 bolo zaobstarané zariadenie Elektrónové delo s priamo žeravenou katódou pre elektrónový litograf ZBA. Zariadenie bolo vybrané na základe odborných znalostí výskumných pracovníkov Oddelenia elektrónovej litografie. Obstaranie zariadenia bolo realizované externým pracovníkom na verejné obstarávanie. Výstupom tejto činnosti bolo obstaranie zariadenia Elektrónové delo s priamo žeravenou katódou pre elektrónový litograf.