Vedúci: Mgr. Zaťko Bohumír, PhD.
Zástupca vedúceho: Ing. Vanko Gabriel, PhD.
Oddelenie sa zaoberá technológiou prípravy rôznych typov tenkých vrstiev, charakterizáciou a štúdiom senzorových štruktúr využiteľných pri detekcii mikrovlného, terahertzového a ionizujúceho žiarenia.
Hlavné oblasti výskumu:
- Detekcia ionizujúceho žiarenia a rtg kryštálová optika
- Supravodivé, feromagnetické, dielektrické a nano-porózne vrstvy
- Mikroelektronické, mikromechanické a senzorové prvky a štruktúry
Ďalšie oblasti výskumu: